目前，真空行業使用的大多數機械91香蕉视频在线都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空大香蕉视频在线看領域的擴大，原有的機械91香蕉视频在线及其組成的抽氣係統出現了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質返流汙染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本。其次，由於某些工藝過程中的反應物質使91香蕉视频在线內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作

對於普通的無油真空係統來說，雖然可用油封式91香蕉视频在线加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使係統顯得複雜。而使用適當型式的幹式機械91香蕉视频在线，則可以達到理想的使用效果

幹式機械91香蕉视频在线的大香蕉视频在线看是廣泛的，主要有以下幾個方麵:

（1）低壓化學氣相沉積中的多晶矽製備工藝中

（2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒

（3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的幹式機械91香蕉视频在线可以滿足要求

（4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、幹燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成汙染，適合用幹式91香蕉视频在线

（5）用做一般無油清潔真空係統的前級泵，以防止油汙染

近年來，幹式機械91香蕉视频在线得到迅速的發展，國外多家大真空公司都研製出了新型的幹式械91香蕉视频在线。國內的許多單位也一直在進行幹式機械91香蕉视频在线的開發研製工作，如東北大學、沈陽真空技術研究所、上海91香蕉视频在线廠等。目前，幹式機械91香蕉视频在线主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的幹式泵有葉片式、凸輪式、往複活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用於小容量高壓縮比(單級壓縮比)。非接觸型的幹式泵有羅茨型、爪型、螺杆型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比(指單級壓縮比)。不同類型的幹式泵具有各自的特點。使用時可根據不同的用途加以選擇